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E-LMT-XYZ (उच्च अचूक रेखीय मोटर XYZ अॅक्सिस स्टेज
| तपशील | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (एअर बेअरिंग रेल) |
| मोटर प्रकार | थ्री-फेज लोखंडी मोटर | व्हॉइस कॉइल मोटर+ |
| ठराव | डीफॉल्ट 100nm डिजिटल प्रमाण | 1vpp खाली 5nm |
| मोटर जोर | सतत 60N/पीक 210N | सतत 60N/पीक 210N |
| किमान पायरी आकार[nm] | 200nm | 100nm |
| प्रवास [मिमी] | 200×200 | 10 |
| पुनरावृत्ती [उम] | ±0.3 | |
| स्थिती अचूकता [उम] | ±1 | ±0.5 |
| सपाटपणा [उम] | 10um | 5um |
| सरळपणा [उम] | 1उं | 1उं |
| कमाल वेग [मिमी/से] | ५०० मिमी/से | 30 मिमी/से |
| लोड क्षमता [किलो] | 5kg (वायवीय स्थिर बल संतुलन वजनासह Z अक्ष) | |
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